PG电子低压化学气相重积(LPCVD)设置Preforma Uniflex™ CW。这是深耕高端微观加工设置多年、正在半导体薄膜重积范围获得的新打破，也是告竣公司营业多元化拉长的新动能。

　　行为中微公司自帮研发的产出效能高且职能突出的12英寸LPCVD设置，Preforma Uniflex™ CW可矫健设备多达五个双反响台反响腔（十个反响台）设备，每个反响腔可能同时加工两片晶圆，正在包管较低的坐蓐本钱和化学品花费的同时，告竣更高的坐蓐效能。

　　Preforma Uniflex™ CW, 行为中微公司自帮研发的LPCVD设置PG电子官方网站，装备了统统具有自帮常识产权的优化混气计划及加热台, 拥有良好的薄膜均一性、填充才力和工艺医治矫健性，对待弯曲度较大的晶圆，它也具备优越的工艺打点才力。而且其优异的阶梯遮盖率和填充才力，可能餍足前辈逻辑器件、DRAM和3D NAND中接触孔以及金属钨线的填充使用需求。

　　摸索不息，革新不止。中微公司推出的Preforma Uniflex™ CW是公司革新之途的又一里程碑。不停此后，中微公司践行四个十大的企业文明，将产物开荒的十大规则永远贯穿于产物开荒、打算和创设的全进程，研发团队秉持为到达设置高职能和客户庄重恳求而开荒的理念，周旋本领革新、设置区别化和常识产权珍爱。这款LPCVD设置不只具有完备、自帮的常识产权，还创造了中微公司新设置研发速率的新记载。中微公司集团副总裁、LPCVD 产物部和大多平台工程部总司理陶珩说：自该款LPCVD设置研发立项此后，仅用不到半年期间，咱们就竣事了产物打算、坐蓐样机开荒和实践室评议，目前已胜利导入客户端举行坐蓐线;

　　方今，数码物业已成为国民经济的两大支柱之一，正正在彻底转折人类的坐蓐和生存式样。中微公司董事长兼总司理尹志尧博士透露，数码强，则国强；数码弱，则国弱。半导体微观加工设置恰是数码物业的基石，是生长集成电途和数码物业的枢纽。工欲善其事，必先利其器，加工微米及纳米级微观器件的设置对生长集成电途与微器件工业、鼓吹数码物业生长至合苛重。此次咱们推出LPCVD新产物，正在等离子体刻蚀设置和MOCVD设置的根源上，进一步拓展了公司的产物线构造，也加强了半导体设置的自帮可控性。来日公司也将连续对准寰宇科技前沿，周旋三维生长战术，推出更多自帮打算的半导体设置设备，为鼓吹数码物业生长功劳气力PG电子官方网站。

　　自2004年造造此后，中微公司悉力于开荒和供给拥有国际逐鹿力的微观加工的高端设置，现已生长成为国内高端微观加工设置的领军企业之一。来日，公司将连续打造更多拥有国际逐鹿力的本领革新与区别化产物，为客户和墟市供给职能优异、坐蓐效能高和性价比高的设置管理计划。PG电子官方网站设备中微公司推出12英寸薄膜重积建筑Preforma Uniflex CW