PG电子官方网站即日,天准科技(股票代码:688003.SH)参股的姑苏矽行半导体技巧有限公司(下文简称“矽行半导体”)重磅通告设备,其首台面向12英寸晶圆65~90nm技巧节点的宽波段明场缺陷检测设置TB1000正式交付客户。
伴跟着这款产物的交付,矽行半导体成立了一个里程碑,这也是中国半导体前道缺陷检测装置工业的一次巨大冲破。
正在半导体修设流程中,前道瑕疵检测是当之无愧的要害工序之一,加倍是明场缺陷检测,不妨检测更通常的缺陷类型,是个中最为要害的一环,是进步产物良率、低落出产本钱、推动工艺迭代的保证。同时,明场缺陷检测设置也是技巧难度最高的前道检测设置,不绝此后被海表龙头企业垄断,而矽行半导体便是为了粉碎这个步地而生的。
矽行半导体的技巧骨干扫数来自国表里著名大学,博硕比例抢先80%,具有多年半导体行业履历,旨正在打造国内以至环球当先的半导体检测装置龙头企业。此次推出明场缺陷检测设置是矽行半导体竣工的要紧冲破,也代表着中国正在半导体光学检测设置周围迈出了尤其坚实的一步。
TB1000竣工了缜密光机电要害中枢部件的自帮可控,同时采用了进步的信号打点算法,有用进步信噪比,明显提拔了设置正在要害造程的缺陷检测机警度。
对待天准科技而言,TB1000的面世,进一步完美了公司正在半导体周围的产物疆土。
天准科技竭力打造卓绝视觉装置平台企业设备,近年来一向加泰半导体设置周围组织,是公司赓续构修宏大策略产物矩阵的要紧设施。正在2020年,公司启动收购德国MueTec公司,以供给囊括Overlay量测、CD量测、宏观缺陷检测等多款面向前道晶圆和掩膜的高精度光学量测与检测设置设备。
天准科技和MueTec通过结合研发,主动推动其产物线年获胜推出头向更高端技巧节点的Overlay产物并已交付客户。同时强化MueTec现有产物的墟市扩张,其高速全主动宏观缺陷检测产物Argos系列已得到著名客户的批量订单。
除收购MueTec以表,天准科技还促使创设了矽行半导体,组织寻事更大的半导体微观缺陷检测设置周围设备。
通过海表并购、策略投资和自帮研发等多种途径,天准科技加疾了正在半导体前道量测及检测周围的组织设备,打造了囊括晶圆微观缺陷检测、Overlay量测、CD量测、掩膜量测与检测和晶圆宏观缺陷检测等系列产物组合。
尽量相较国际半导体设置龙头企业,国内半导体前道量测与检测设置公司正在进入墟市时辰PG电子、筹备范围、产物品种、技巧繁荣等方面相对掉队,但近年来国内半导体工业繁荣急迅,屡创佳绩的天准科技更是个中的样板代表。
改日,天准科技将饱满发扬多年来正在技巧、人才和产物策略等方面的储存和先发上风,以竣工技巧通盘突围,帮力半导体设置国产化,成立国际一流半导体量测与检测设置公司。PG电子国产明场检测开发再上新台阶天准科设备技加快结构