PG电子前不久,位于姑苏相城经济本事拓荒区的晟盈半导体(SWAT)向一家国内着名驱动IC修筑公司交付了一台ECD平台,激发业内高度闭切。这台金凸块全主动电化学浸积(电镀)配置不但是该规模首台国产化配置,也代表着国内电化学浸积本事正在大尺寸金凸块前辈封装规模博得了新的冲破。
封装本事发展是推进半导体家当持续发扬的紧要闭头。动作出产经过中的主题本事之一,电化学浸积ECD配置可能撑持编造级封装(SiP)、晶圆级封装(WLP)等前辈封装本事。跟着摩尔定律慢慢走到物理极限,集成电途的本事门途维发扬的趋向。更加正在高机能芯片的修筑方面,前辈封装接受委果现超越摩尔的本事任务,商场需求保护较高速率的增加,带头行业产值疾捷提拔,使得电化学浸积ECD配置迎来了需求发生期。正在这个时代中,国内厂商的机遇正在哪里?
平日而言,电化学浸积工艺的出产操纵,可分为前道晶圆修筑和后道前辈封装两大规模。
正在前道集成电途芯片出产经过中,电化学浸积( ECD )配置紧要利用于大马士革铜互连工艺,完成差异金属层的相联。从修筑经过来看,半导体器件修筑中必要铺设大宗铜线,电化学浸积( ECD )是最疾捷且最具本钱效益的方式。铜线动作导线彼此相联以变成完全电途。要使电途平常使命,金属就要全部填充布线的特质部位,包罗通孔和沟槽,要做到不留漏洞或孔洞,不然就会影响电途的牢靠性和成效性。
正在后道封装闭头中,2.5/3D封装、球栅阵列、芯片级封装(CSP)和晶圆级封装(WLP)等前辈封装中倒装芯片、扇出、扇入和搀杂键合等操纵高度依赖电化学浸积( ECD )配置。它紧要用于晶圆封装工艺中微凸点修造、铜重漫衍层、硅通孔填充等。固然铜是最常见的电镀金属,但金、镍、银和锡也可能通过ECD工艺浸积。
正在半导体芯片修筑经过中,浸积配置霸占总共产物线%。目前电化学浸积( ECD )配置供给商紧要以美商为主,市占率简直抵达90%以上,中国此规模的前辈配备尚处于起步阶段。这也是目前半导体配置正在国产化方面为数不多的空缺点之一。正在晟盈半导体(SWAT)之前,仅有少数几家正在钻探规模针对150mm(6英寸)及以下尺寸晶圆有较成熟配置,但目前还紧要聚会于MEMS、MMIC、激光LD等芯片的操纵,而针对200mm~300mm(8~12英寸)集成电途操纵的ECD配置还正在拓荒当中。
实用于大尺寸集成电途产线的ECD配置拓荒难度大,除了厉苛的工艺机能职掌以表,正在高牢靠性、高产能方面也有着较高的门槛,且配置正在正式进入产线以前必要过程长韶华的验证设备,导致国内厂商正在该规模中很难找到冲破口。这也恰是为什么晟盈半导体(SWAT)交付ECD电镀配置的音讯可能惹起业界的高度闭切。
从商场侧来看,国内ECD配置商场增加潜力强壮。中国事环球第一泰半导体消费商场,家当恒久向好。依照国度发改委数据显示,2023年中国数字经济范畴将抵达52万亿元,2032年将抵达100万亿元。跟着数字经济赓续强壮,半导体家当将阐述越来越紧要的影响设备。加之,近年来中国半导体家当正在尽力圆满家当链,补齐短板,策略与商场双重驱动,给家当链上游的配置与原料规模发扬供给了极大的机会。
从家当侧来看,今朝新型商场需求的疾捷扩张激发了家当方式的转折,集成电途打算企业、晶圆修筑厂商、终端企业都有组织半导体封装测试的趋向,前辈封装规模新创企业也不足为奇。正在国际营业干系不确定性扩展叠加疫情导致供应链担心祥性提拔的后台下,紧要封测厂商赓续加大对本土配置原料厂商的撑持力度,有力鼓励了本土封测配置原料厂商本事和范畴提拔。
然则电化学浸积本事毕竟拥有较高的本事门槛,没有丰富的本事与体验积淀基本不大概正在短韶华内博得收获。以晟盈半导体(SWAT)为例,他们的闭节团队有着丰裕的半导体配置拓荒的胜利体验,也曾主导ECD配置研发、出产,胜利地使新配置进入国际一流半导体公司(台积电、三星、英特尔,IBM)并成为这些公司新产物出产的主流配置。正在这台金凸块全主动电化学浸积(电镀)配置交付之前,晟盈半导体(SWAT)已完成多台电化学浸积配置正在铜互连(RDL)及铜柱(Pillar)操纵并转量产验证,获取了国内多家前辈封测公司的信赖。
由此咱们也可能窥见半导体配置企业发扬的闭节因素,这些也将成为驱动中国脉土半导体配置修筑技能疾捷发扬的硬势力。第一设备,必要有当先的本事,半导体本事需求正正在发诞辰月牙异的转折,企业必要紧跟商场需求转折提前研发新的本事。第二,产物要有较高的牢靠性和安祥性,半导体出产对配置牢靠性和安祥性哀求很高,新配置研发、出产、交付和爱护每个闭头都要保障配置的牢靠性和安祥性。第三,配置要有高性价比,集成电途芯片越来越丰富、价值越来越省钱,配置必然要做到本钱低、产能大,能力更具商场竞赛力。
ECD配置起步于封装商场看待前沿本事需求的生机,具有安祥且更宽的商场拓展空间。晟盈半导体(SWAT)总司理刘震球博士以为,进一步智能化和互联互通是工业和社会发扬的大趋向,中国拥有重大的商场、并且正在新本事推行操纵上当先于其它经济体。半导体集成电途正在该发扬趋向中居闭节位置,ECD配置也是集成电途修筑的闭节配置。晶圆级ECD配置的第一梯队继续是几家美国公司,为了符合半导体家当国际发扬倾向,中国半导体出产配置务必完本钱土化。对此,刘震球博士针对晟盈半导体(SWAT)的发扬协议了两步走的计划:第一步,从后道前辈封装实行开局,同步实行前道晶圆出产ECD工艺的研发。这一步已于本年顺手完成。第二步,完成正在前道晶圆出产ECD工艺的国产替换,首台样机筹划于2024年中交付国内FAB厂实行出产验证。
完成半导体配置本土化的经过充满了挑衅。行业正处于下行周期,同时又叠加环球经济放缓及地缘政事等宏观后台,中国脉土半导体配置企业面对着极大的生计挑衅。最非常的两大挑衅来自于商场和供应链:一方面,中国半导体配置商场的供应链不敷圆满;另一方面,遇到半导体行业下行周期,客户政策调治导致订单数目下滑。挑衅之下,本土配置企业怎样生计呢?
稳定好原有规模的城池是首要工作。通过恒久不懈尽力,本土配置厂商正在本钱和任职商仍旧具备了与海表厂商同台竞赛的技能,性价比也往往更高,商场对国产配置越来越承认。本土配置厂商应当紧抓国产化的机会,以本事势力和任职技能稳定好原有规模的城池。晟盈半导体(SWAT)就昭彰了本土化撑持的三大支柱:丰裕的半导体行业体验团队、具备定向的测试测验室、当地化专业团队向客户供给任职PG电子官方网站。目前晟盈半导体(SWAT)已具有120余名员工,350台以上装机量,凌驾200台为ECD电镀配置。
从国际配置厂商的体验来看,简单配置的商场容量有限,企业念要做大做强,务必拓展产物线。
正在横向产物线拓展上,本土配置厂商必要有前瞻性的产物政策思想,加疾新产物组织与产物迭代,为客户赓续供给拥有差别化竞赛力的产物。正在大尺寸堆叠集成芯片规模,晟盈半导体(SWAT)的ECD Stratus P300仍旧胜利交货,也便是开篇所提到的那款ECD平台。正在Chiplet晶圆级封装本事规模,晟盈半导体(SWAT)的P300也仍旧找到成熟操纵节点。正在本本地货业链缺失的高级深孔电镀规模,晟盈半导体(SWAT)的新平台P300+也已问世。
正在纵向产物线拓展上,沿着家当链上下求索会有更多思绪。晶圆修筑配置与后道封测配置正在本事上有着必然的相通性。动作前道闭头,晶圆修筑配置家当链代价更高,霸占半导体配置份额凌驾80%,商场更为空旷。因为本事聚集度高,国际配置厂商寡头垄断,比拟于后道封测配置,晶圆修筑配置的国产化水平更低,国产化大局也更为迫切。正在后道配置上积攒了丰裕体验的晟盈半导体(SWAT)筹划将组织延展向前道晶圆修筑规模,走向更大的商场。正在刘震球博士看来,本土企业晟盈半导体(SWAT)走向晶圆修筑规模是极具底气的,晟盈半导体(SWAT)有技能复造以前的胜利体验,正在中国研发、出产晶圆修筑配置,成为国内当先的半导体配置公司,以满意国内半导体发扬的需求。
比来几年,正在我国半导体配置企业的尽力下,半导体配置络续通过国内产线验证,进入了贸易化供货阶段。正在国产配置厂商络续地革新与自我超越下,半导体配置国产化的黄金海潮已然开启。坚信本土配置企业会正在赓续的革新与前行寻找中,正在策略和商场的双重撑持下,慢慢生长为半导体配置商场第一梯队中的一员,帮力国内半导体家当链的联合繁华。PG电子官方网站设备挑拨之下本土摆设厂商若何破浪前行?